2300/2800 L大型表面处理设备
关键词：等离子表面处理设备,信清洗设备
1、适合汽车零部件等大型产品的处理;
2、处理速率高，均匀，效果好;
3、定制化产品，可根据需求定制，集成控制系统，操作简单易维护;
2300/2800 L大型表面处理设备 详情介绍
产品特点
1、适合汽车零部件等大型产品的处理;
2、处理速率高，均匀，效果好;
3、定制化产品，可根据需求定制，集成控制系统，操作简单易维护;
应用案例
晶圆，IC表面活化，LED封装，引线键合前表面活化，去除硅片表面氧化膜和有机物
内外饰材料表面活化，发动机油封片，点火线圈表面活化清洁
HDI板去除激光钻孔后的氧化物，PCB/FPC结合板孔壁除胶。PTFE板表面活化，BGA贴装
产品参数
| 名称/Name | 2300/2800 L大型表面处理设备 |
| 型号/Model | VAC-DE230 |
| 腔体规格/Size | 2300/2800 L，金属腔 |
| 电源/Power Supply | 13.56 MHz，自动阻抗匹配 |
| 功率范围/ Power Range | 3-60 kW，连续可调 |
| 电极结构/Electrode Structure | 平板，多层结构 |
| 气体流量控制/Gas Controller | 0-3000 mL/m， MFC气体质量流量计精确控制流量 |
| 真空测定系统/Vacuum Measure | 皮拉尼真空硅管 测量范围：1.0×10-1～1×105 Pa |
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