80/150 L中型表面处理设备
关键词：等离子表面处理设备,信清洗设备
1、适合6英寸、8英寸晶圆产品;
2、清洗速率高，均匀，效果好;
3、集成控制系统，操作简单易维护;
80/150 L中型表面处理设备 详情介绍
产品特点
1、适合6英寸、8英寸晶圆产品;
2、清洗速率高，均匀，效果好;
3、集成控制系统，操作简单易维护;
应用案例
塑料、金属、玻璃的清洁和活化
PCB线路板零电势表面处理
晶园、电子元器件的表面处理
汽车塑料内饰件植绒、粘接前处理
玻璃瓶、塑料、纸盒等表面喷码、印刷前处理
产品参数
| 名称/Name | 80/150 L中型表面处理设备 |
| 型号/Model | KL-VAC-DI800 |
| 腔体规格/Size | 80/150 L，金属腔 |
| 电源/Power Supply | 13.56 MHz，自动阻抗匹配 |
| 功率范围/ Power Range | 1-3 kW，连续可调 |
| 电极结构/Electrode Structure | 平板，多层结构 |
| 气体流量控制/Gas Controller | 0-500 mL/m， MFC气体质量流量计精确控制流量 |
| 真空测定系统/Vacuum Measure | 皮拉尼真空硅管 测量范围：1.0×10-1～1×105 Pa |
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