等离子清洗机腔体电极结构对清洗效果的影响

等离子清洗机清洗效果会因电极布局不同而有明显差别，主要影响有电极选用材质、正负极板布局和腔体尺寸大小等。

电极内嵌等离子清洗系统，电极完全暴露在等离子体区内，有些材质的电极会被一些等离子体局部刻蚀或产生溅射现象，导致不必要的污染，还可能引起电极尺寸的微观变化，进而降低等离子清洗系统的稳定性。

缩短电极间距可以快速获取等离子体进行清洗，限制等离子体区可得到浓度较高的等离子体。将电极间距增加后清洗速度下降，但均匀性增强。电极板的极性与电极间距可按照不同应用需求进行选择，也可以适当改变真空腔体的尺寸来增加料盒托盘的数量和长宽深等尺寸，提高清洗设备的利用率。