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观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用,在使用一段时间后会造成观察窗玻璃的表面微蚀,使其变得模糊不清。处理方法:用无尘布(纸)沾酒精或丙酮对玻璃进行清洁或直接更换真空玻璃。
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如何保养真空等离子清洗机真空泵?
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