等离子清洗机中不同气体的作用及气体选配
发布时间：
2023-08-17
等离子清洗机在清洗物体前首先要对清洗的物体和污染物进行分析，然后进行气体的选配...
等离子清洗机在使用中，最重要的就是工艺气体，不同的产品、不同的清洗要求，需要使用不同的气体配方进行清洗。等离子清洗机在清洗物体前首先要对清洗的物体和污染物进行分析，然后进行气体的选配。
依据等离子的作用原理可将选配气体分为两类，一类是氢气和氧气等反应性气体。氢气可供去除金属表面氧化物使用，虽然纯氢效率高，但考虑到放电的稳定性和安全性，它经常与氩气混合使用。有机污染物可以有效地用氧气等离子去除，这里氧气等离子与污染物反应，产生二氧化碳、一氧化碳和水。对于易氧化或易还原的材料，等离子清洗机也可以采用颠倒氧气和氩氢气体的清洗顺序来达到清洗彻底的目的。
另一类是等离子清洗机通入氩气、氦气和氮气等非反应性气体。氩气是最有效的物理等离子体清洗气体,原因在于它原子的尺寸大，可以用很大的力量轰击样品表面，撞击力足以去除表面上的任何污垢，然后这些气态污物通过真空泵排出。氮等离子处理能提高材料的硬度和耐磨性，防止部分金属表面出现氧化。氩气和氦气性质稳定，并且放电电压低易形成亚稳态的原子。
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